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2022年6月16日，中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所吳忠?guī)浹芯繂T在新晉能源期刊Nano Research Energy發(fā)表題為“Recent status and future perspectives of ultracompact and customizable micro-supercapacitors”的綜述論文。

隨著物聯(lián)網(wǎng)和信息技術(shù)的發(fā)展，我們將逐漸進入智能化時代。面對可穿戴的健康監(jiān)測設(shè)備、可植入微電子醫(yī)療器件、用于環(huán)境監(jiān)測的多節(jié)點傳感器等各種智能化、輕量化、小型化電子產(chǎn)品的蓬勃發(fā)展，作為微電子器件的重要組成部分，微型儲能器件也必須向質(zhì)量輕、體積小、能量高、壽命長、易集成的方向全方位發(fā)展。在眾多微型儲能器件中，叉指構(gòu)型的平面微型超級電容器由于具有卓越的功率輸出、超長的壽命(~100000次循環(huán))、可控的電子/離子傳輸路徑、可設(shè)計和可定制的性能、以及易于與其他微電子系統(tǒng)集成等眾多優(yōu)點，其作為自供電/無線供電微電子系統(tǒng)的功率源組件受到越來越多的關(guān)注。迄今為止，微型超級電容器在電化學(xué)性能、功能特性和系統(tǒng)集成等多個方面均取得了很大的研究進展。然而，目前微型超級電容器仍然存在幾何尺寸較大、集成度低等問題，與微電子系統(tǒng)的兼容制備和單片集成仍然是一個巨大的挑戰(zhàn)。

本綜述中，該團隊主要綜述了器件面積小于10mm2、具有高集成度、可定制的微型超級電容器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展前景。首先回顧了在極小空間中微型超級電容器的發(fā)展歷程。其次，系統(tǒng)地總結(jié)了超小微型超級電容器的最新研究進展，包括：（?。?strong>先進的微細加工技術(shù)，制備出小型化、分辨率高、輸出電壓和電容可調(diào)的超小微型超級電容器；（ⅱ）電解液的精確滴加技術(shù)，將電解質(zhì)精確的滴加到所設(shè)計的微器件上，而不干擾其他器件或微電子系統(tǒng)中其他的電子單元；（ⅲ）提高微小器件性能的可行策略，構(gòu)建具有高電子/離子傳輸特性的厚電極、三維微電極結(jié)構(gòu)和設(shè)計高空間利用率的特殊器件構(gòu)型。最后，從兼容性的電極材料制備技術(shù)、薄膜制備技術(shù)、圖案化微電極制備技術(shù)的角度對超小型微型超級電容器目前存在的挑戰(zhàn)和未來的研究方向進行了展望，并呼吁材料、化學(xué)和微電子技術(shù)等領(lǐng)域?qū)W者進行跨學(xué)科的合作，以促進未來超小型微型超級電容器在微尺度芯片電子器件上的廣泛應(yīng)用。